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        6. IGBT(絕緣柵雙極晶體管)的結構特點與技術趨勢
          • 發布時間:2020-05-04 17:43:19
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          IGBT(絕緣柵雙極晶體管)的結構特點與技術趨勢
          在節能環保趨勢的推動下,絕緣柵雙極晶體管(Insulated Gate Bipolar Transistor,IGBT)近幾年已經成為半導體行業的耀眼明星,廣泛應用于軌道交通、智能電網、航空航天、電動汽車與新能源裝備等領域。
          在新能源汽車的控制系統中,IGBT約占整車成本的7-10%,是電池之外成本第二高的元器件,也是決定整車能源效率的關鍵組件,主要用于電機驅動、發電機、空調部分。在直流充電樁中,IGBT占原材料成本的30%;而電力機車一般需要500個IGBT模塊,動車組需要超過100個IGBT模塊,一節地鐵需要50-80個IGBT模塊。
          IGBT晶體管結構特點
          從結構看,IGBT的輸入端為MOSFET結構,輸出部分為BIPOLAR結構,屬于MOSFET和BIPOLAR的復合體,既是使用電子與空穴兩種載體的雙極元件,同時也是兼顧低飽和電壓(與功率MOSFET的低導通電阻相當)和較快的開關特性的晶體管。只不過,BIPOLAR適用于中速開關,MOSFET則適用于高頻領域,IGBT開關特性遜于功率MOSFET。
          絕緣柵雙極晶體管
          功率元器件的基本結構與特點
          作為一種功率半導體元器件,IGBT在電路中的功能相當于一個用電壓控制的電子開關,表現出高耐壓、小飽壓降,以及節能、安裝維修方便、散熱穩定等特點,用在電壓幾十到幾百伏量級、電流幾十到幾百安量級的強電場合。
          使用時,一般通過脈沖寬度調制(PWM)的方式控制IGBT開關,將電流從DC轉換到AC(電池到電機,驅動電機)或者從AC轉化到DC(電機到電池,剎車、下坡時能量回收),給負載使用。因此,IGBT是能源變換與傳輸的核心器件,俗稱電力電子裝置的CPU。
          IGBT應用優勢
          IGBT最常見的形式其實是模塊(Module),而不是單管。其中,空心塑殼封裝,與空氣的隔絕材料是高壓硅脂或者硅脂,以及其他可能的軟性絕緣材料。IGBT器件采用同一個制造商、同一技術系列的產品,IGBT模塊的技術特性與同等規格的IGBT單管基本相同。
          絕緣柵雙極晶體管
          功率半導體的應用范圍
          IGBT模塊的主要優勢有以下幾個:
          (1)多個IGBT芯片并聯,IGBT的電流規格更大。
          (2)多個IGBT芯片按照特定的電路形式組合,如半橋、全橋等,可以減少外部電路連接的復雜性。
          (3)多個IGBT芯片處于同一個金屬基板上,等于是在獨立的散熱器與IGBT芯片之間增加了一塊均熱板,工作更可靠。
          (4)一個模塊內的多個IGBT芯片經過了模塊制造商的篩選,其參數一致性比市售分立元件要好。
          (5)模塊中多個IGBT芯片之間的連接與多個分立形式的單管進行外部連接相比,電路布局更好,引線電感更小。
          (6)模塊的外部引線端子更適合高壓和大電流連接。同一制造商的同系列產品,模塊的最高電壓等級一般會比IGBT單管高1-2個等級,如果單管產品的最高電壓規格為1700V,則模塊有2500V、3300V乃至更高電壓規格的產品。
          IGBT技術關鍵
          IGBT目前已經發展到7.5代,第7代由三菱電機在2012年推出,三菱電機目前的水平可以看作7.5代,同時IGBT的下一代SiC技術已經在日本全面普及,無論三菱這樣的大廠還是Fuji、Rohm這樣的小廠都有能力輕松制造出SiC元件,我國目前停留在第三代水平上,差距在20年以上。
          絕緣柵雙極晶體管
          IGBT技術關鍵發展節點
          IGBT的關鍵有兩點,一是散熱,二是背板工藝。
          IGBT的正面工藝和標準BCD的LDMOS沒區別,區別在背面,背面工藝有幾點,首先是減薄,大約需要減薄6-8毫米,減得太多容易碎片,減得太少沒有效果。接下來是離子注入,注入一層薄磷做緩沖層,第四代需要兩次注入磷,本來硅片就很薄了,兩次注入很容易碎片。然后是清洗,接下來金屬化,在背面蒸鍍一層鈦或銀,最后是Alloy,因為硅片太薄,很容易翹曲或碎片。英飛凌特別擅長減薄技術。
          自第六代以后,IGBT自身的潛力已經挖掘的差不多了,大家都把精力轉移到IGBT的封裝上,也就是散熱。這主要有四點:
          第一,就是提高IGBT模塊內部的導熱導電性能、耐受功率循環的能力,IGBT模塊內部引線技術經歷了粗鋁線鍵合、鋁帶鍵合再到銅線鍵合的過程,提高了載流密度。
          第二,新的焊接工藝,傳統焊料為錫鉛合金,成本低廉、工藝簡單,但存在環境污染問題,且車用功率模塊的芯片溫度已經接近錫鉛焊料熔點(220℃)。解決該問題的新技術主要有:低溫銀燒結技術和瞬態液相擴散焊接。與傳統工藝相比,銀燒結技術的導熱性、耐熱性更好,具有更高的可靠性。
          瞬態液相擴散焊接通過特殊工藝形成金屬合金層, 熔點比傳統焊料高,機械性能更好。三菱則使用超聲波焊接。
          第三,改進DBC和模塊底板,降低散熱熱阻,提高熱可靠性,減小體積,降低成本等。以AlN和AlSiC等材料取代DBC中的Al2O3和Si3N4等常規陶瓷,熱導率更高,與Si材料的熱膨脹系數匹配更好。此外,新型的散熱結構,如Pin Fin結構和Shower Power結構, 能夠顯著降低模塊的整體熱阻,提高散熱效率。
          第四,就是擴大模塊與散熱底板間的連接面積,如端子壓接技術。
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          IGBT的應用領域
          在新一代IGBT產品中,SiC(碳化硅)技術已經嶄露頭角,這是提高新能源汽車效率最有效的技術,效率提高可達10%,其功效“與汽油發動機同等重要。”雖然價格是傳統Si產品的6倍,SiC型IGBT在新能源汽車和智能網聯汽車中的作用卻越來越重要。預計在新能源汽車領域示范應用后,SiC型IGBT將很快推廣到其他工業和消費應用中。
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