MOSFET、MODFET、MESFET最大的區別在于柵極的控制；
MOSFET是MOS金屬-氧化物-半導體（電容）做柵極；
MODFET/MESFET是用金屬-半導體接觸（肖特基二極管），用二極管做柵極。速度比MOS要快，可以用在高速電路上。
MOS相當于塑料閥門頭，MES/MOD是銅閥門頭。
MESFET和MODFET的區別
MODFET有異質結，形成一個二維層，叫二維電子氣(Two-dimensional electron gas,2DEG)是指電子氣可以自由在二維方向移動，而在第三維上受到限制的現象。
所有場效應晶體管(FET)的輸出特性均相似。低漏偏壓時存在一線性區。偏壓變大時，輸出電流最終達到飽和；電壓足夠高時，漏端將發生雪崩擊穿。
根據閾值電壓的正或負，場效應晶體管可分為增強型(常斷模式)或耗盡型(常通模式)。金屬半導體接觸是MESFET與MODFET器件的基本結構。使用肖持基勢壘作為柵極、兩個歐姆接觸作為源極與漏極。
MODFET器件高頻性能更好。器件結構上除柵極下方的異質結外，大體上與MESFET相似。異質結界面上形成二維電子氣(亦即可傳導的溝道)，具有高遷移率與高平均漂移速度的電子可通過溝道由源極漂移到漏極。
截止頻率fT是場效應晶體管的一個高頻指標。在給定長度時，Si MOSFET(n型)的fT最低，GaAs MESFET的fT比硅約高三倍。常用GaAs MODFET與贗晶SiGe MODFET的fT 比GaAs MESFET約高30％。
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